低能团簇束沉积法（LEBCD）：首先将所要沉积的材料激发成原子状态，以 Ar、He气作为载体使之形成团簇，同时采用电子束使团簇电离化，然后利用飞行 时问质谱...
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4）低能团簇束沉积方法（LEBCD），低能团簇束沉积是近几年出现的一种纳米薄膜 技术。
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