...甚或三度空间之微结构的需求，乃有三 度空间微制造研究技术相继被开发出來，其中包括光 刻铸模技术、雷射光刻铸模（Laser LIGA）技术、或 類光刻铸模（LIGA-like）技术等。
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laser-LIGA 激光
laser liga
激光联赛
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In chapter four, the system design of Laser LIGA Lithography Apparatus and unit design are introduced.
第四章介绍了激光LIGA光刻实验装置的总体设计以及各单元部件的研制情况。
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