Reactive Ion Etching 反应离子刻蚀 ; 反应离子腐蚀 ; 反应性离子蚀刻
ion etching chamber 离子蚀刻室
ion etching station 离子束腐蚀机
high frequency ion etching 高频离子腐蚀
ion etching equipment 离子刻蚀设备
Deep Reactive Ion Etching 深层离子蚀刻技术 ; 深反应离子刻蚀 ; 离子蚀刻技术 ; 利用深反应离子蚀刻
Ion etching technology 离子刻蚀技术
Reactive Ion Etching System 反应离子刻蚀系统
argon ion etching 氩离子蚀刻
The theory of ion etching and the parameter of ion source designing are discussed in detail.
并且详细论述离子刻蚀的原理以及离子源的参数设计。
Photoresist grating was fabricated by holography, and it was used in the mask of ion etching.
采用全息法制备了光刻胶光栅，并用该光栅掩膜离子蚀刻。
A patterned DLC thin film cathode was fabricated by reactive -ion etching method and mic ro -fabrication technology.
通过离子束技术和微细加工技术可以实现DLC薄膜的图形化并能大大提高薄膜的场发射性能。
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