...于玻璃基底和聚酰亚胺基底,运用剥离工艺(lift off)制作了微流量传感器的电极;同时又基于硅基底,运用离子铣工艺(Ion Beam Milling)制作了微流量传感器的电极,对比了二种加工方法的优缺点;然后基于二种方法制作了测热式微流量传感器,探讨了微流量传感器与微流道集...
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ar ion beam milling 氩离子束刻蚀
In ion beam milling technique, ordinarily, the argon ion is used as the ion source.
离子束研磨减薄技术中，目前常用的是氩离子。
Last, a technique known as anisotropic ion beam milling (IBM) is used to etch through the mask to make an array of holes, creating the nanoporous metal.
最后，采用各项异性的离子束(IBM)加工技术可以通过掩膜来蚀刻孔阵，以制成纳米多孔金属材料。
DOE's fabrication techniques mainly include laser beam or electron beam writing, RIE, ion milling and thin film deposition.
衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。
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