... 正性光刻胶 positive photoresist 无机光刻胶 inorganic resist 多层光刻胶 m*不良词语*tilevel resist ...
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The oxygen concentration of the inorganic resist layer can be varied along the thickness direction by changing the proportion or film formation output of reactive gas.
通过改变反应气体的比率或成膜输 出，可以使无机光刻胶层的氧浓度在厚度方向不同。
youdao
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