摘要：该论文研究Co/a-GeSi/Ti/Si(100)和Co/a-C/Si(100)两种新结构外延生长CoSi薄膜的中间层诱导固相外延(IMSPE)新技术.研究了多层薄膜的固相外延过程及机制,所形成CoSi薄膜的晶体结构,电学、热学性能,中间层的作用以及各原子的扩散运动.
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