中频反应溅射沉积二氧化钛膜难于控制的主要原因是钛靶的强金属性,使滞回曲线(hysterrisis curve)过渡区临界.实验结果表明,钛靶电压随氧气流量在非平行的过渡区作非单调的变化.
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hysterrisis curve
hysterrisis曲线
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