...尘车间规范建造，将乱流式及层流式以复合并用，提供超洁净空气，无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器(guo lv qi)将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上。
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guo lv qi
郭吕琦
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