除了晶圆上之金属杂质与微粒之洗净能力外,当元件闸极氧化层厚度缩小至3毫微米时,闸极氧化层 完整性 ( gate oxide integrity )与片电阻(sheet resistivity)等电性表现方面,相较于传统化学酸槽(wet bench),单槽清洗机均有令人满意的结果。
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... furnace 炉管 goi: gate oxide integrity 门氧化层完整性 hci: hot carrier injection 热载流子注入 ...
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