LIGA是德文Lithogrsphie（光刻）、Galvanoformung（电铸成型）和Abformung（塑铸成型）三个字的字头，它由深层同步辐射光刻、电铸成型及塑铸成型这三个工艺过程组成。
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... LIGA技术是1986年德国卡尔斯鲁尔核研究所Wolfgang Ehmld等人发明的， 即为德文中光刻（Lithographic）、电铸（Galvanoformung）和模铸（Alfolmung）的 缩写。LIGA技术包括以下三个工艺：同步辐射x射线进行深度光刻、电铸成型 和注塑。
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LIGA是德语光刻(Lithographie) 、电镀( Galvanoformung)和压模(Abformung)的简称。它主要有以下几个步骤：曝光→显影→电镀→脱模→填充→去除金属.
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2．8LIGA LIGA是德文中制版术（Lithograoghie），电铸成形（Galvanoformung）和注 塑（Abforrmmg）的缩写。该工艺在20世纪80年代初创立于德国的卡尔斯鲁厄 原子研究所，是为制造微喷嘴而发明出来的。
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