... flask annealing砂箱内退火 flame annealing火焰加热退火（消除焊缝应力） flash annealing快速退火 ...
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迁移率的改变也延缓了对掺杂杂质活化技术的严格要求，例如闪光退火（flash annealing）或激光退火（laser annealing）。
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1、掺杂技术：离子注入，等离子掺杂，气体、固体掺杂；2、退火技术：快速追火，激光退火，闪耀退火（flash annealing），固相外延，晶格损伤及缺陷；3、新器件结构：SOI上浅结，SiGe/Si异质结器件，肖特基势垒源漏纳米CMOS；4、硅化物及接触技术：低...
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表面退火 flash annealing; skin annealing 表面脱碳 skin decarburization; soft skin; surface decarburization .
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