In a exemplary embodiment 在一个典型的实施方案中
In an exemplary embodiment, a plasma processing chamber is provided.
在一个示范性实施例中，提供一种等离子处理室。
In one exemplary embodiment, the first conductor 102 is a loop conductor.
在一个例示的实施例中，第一导体102是环导体。
In another exemplary embodiment, the first conductor 102 lies on the edges of the dielectric support 110.
在另一示例性实施例中，第一导体102位于电介质支撑件110的边缘上。
应用推荐