...室(LBNL)及Sandia国家实验室构成的 联合实验室(VNL)及由Intel、AMD、Motorilal、 IBM等组成的极紫外有限责任公司(EUV LLC) 组成,研究经费由EUV LLC提供,总计25亿美 元。
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euv llc
euv有限责任公司
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