但是，其问题在于蚀刻剂(etchant)和纯水的使用量大、废液量多。 一般在进行干式蚀刻时，为了除去表面的部分固化的光刻胶，会追加等离子灰化工序，其成为设备成本、...
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etchant solution 腐蚀溶液
anisotropic etchant 蛤异性腐蚀剂
etchant gas 腐蚀气体
chemical etchant 化学腐蚀剂
gas etchant 气体腐蚀剂
selective etchant 选择腐蚀剂
ammonium fluoride etchant 氟化铵浸蚀剂
N any acid or corrosive used for etching 镂蚀剂
More often , all of the materials etchant have a finite etch rate.
剂中的材料都具有一定的刻蚀速率。
More often, all of the materials exposed to the etchant have a finite etch rate.
通常，所有暴露在刻蚀剂中的材料都具有一定的刻蚀速率。
It was relative to the etching depths, temperature and the etchant proportion and types.
凸角侧向腐蚀程度与腐蚀深度、腐蚀温度、腐蚀剂配比等诸多因素有关。
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