...借由改变铝薄膜厚度及不同升温速度，并经由拉曼光谱分析仪(Raman Spectrometer)、薄膜X光绕射仪(X-Ray Thin Film Diffractometer)、霍尔量测(Hall Measurement)等分析低温铝诱发多晶矽薄膜之结构、电特性及光学特性。
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xray thin film diffractometer
x射线薄膜衍射仪
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