... 射线光刻 x ray lithography x 射线掩模 x ray mask x 射线光电子能谱学 x ray photoelectron spectroscopy x ...
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x ray mask x
X射线掩模
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The fabrication of X-ray stencil silicon mask and its application in X-ray deep lithography are presented in this paper.
阐述了X射线镂空硅掩模的研制及其在同步辐射深层光刻中的应用。
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