XPS： 1.固体样品的表面组成分析，化学状态分析，取样深度为～3nm 2.元素成分的深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式） 3.可进行样品的原位处理 AES： 1.可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析） 2.可进行深度分析适合： 纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，摩擦化学，高分子材料的表面和界面研究
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