标记掩模透镜中的均匀性修正模块（UNIformity Correction Module，UNICOM）可以达到最好的光束均匀性。 投影光学系统（投影物镜）将掩模图像缩小 4 倍投影到圆片上的切片上。
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uniformity correction module
均匀性校正模块
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