定义 中文名称： 外延层厚度 英文名称： thickness of an epitaxial layer 定义： 从晶片表面到外延层?-?衬底界面的距离。 应用学科： 材料科学技术（一级学科）； 半导体材料（二级学科）；元素半导体材料（二级学科） 以上内容
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