表面微机械
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surface micromachine technology 表面微机械技术
silicon surface micromachine 硅表面微机械
surface micromachine
表面微型机械
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A new type of zine oxide (ZnO) thin film devices can be realized utilizing piezoelectric and surface micromachine technology.
利用压电薄膜和表面微机械技术可实现新型的氧化锌簿膜器件。
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