应用材料公司副总裁暨金属沉积产品处总经理桑德.拉玛莫斯(Sundar Ramamurthy) 博士表示:「凭藉15年在铜导线技术的领导地位,Ventura系统具达更高深宽比矽穿孔制程实力,在制造阻障层和晶种层上,比传统铜导...
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