溅射偏压
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sputtering bias-voltage 溅射偏压
dc bias-voltage sputtering 直流偏压二极溅射
sputtering bias voltage
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Ions sputtering could lead to the decrease of the thickness when the substrate negative bias voltage increases excessively.
负偏压过大对吸附离子产生反溅射作用导致涂层厚度减小。
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