single source chemical vapor deposition
...2006)05-0766-07 以Zn4(OH)2(O2CCH3)6·2H2O为单一固相有机源,采用单源化学气相沉积法(Single source chemical vapor deposition, SS CVD)在Si (100)衬底上制备ZnO薄膜,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)分析ZnO薄膜..
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single source chemical vapor deposition
单源化学气相沉积
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