硅微机械
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silicon micromachine resonant sensors 硅微机械谐振传感器
silicon surface micromachine 硅表面微机械
silicon micromachine
硅微型机械
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Some new techniques are adopted, for example, technology of dual-face alignmental silicon etching and anisotropic corrosion (micromachine), etc.
采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。
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