...关键词： MEMS；碳化硅直接键合；微观结构；碳化硅过渡层；粘性流动；熔融键合 [gap=1222]Keywords: MEMS; SiC direct bonding; microstructure; SiO2 transition layer; viscous flow; fusion bonding ..
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sic direct bonding
Sic直接键合
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