semi-insulating polycrystalline-silicon
其中半绝缘掺氧多晶硅(Semi-Insulating Polycrystalline-Silicon,SIPOS)作为一种新的钝化技术,制备在器件衬底表面能有效的屏蔽外部电场,改善了厚SiO_2直接作钝化层时对Na...
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其中半绝缘掺氧多晶硅(Semi-Insulating Polycrystalline-Silicon,SIPOS)作为一种新的钝化技术,制备在器件衬底表面能有效的屏蔽外部电场,改善了厚SiO_2直接作钝化层时对Na...
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semi-insulating polycrystalline-silicon
半绝缘性多晶硅
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