sacrificial layer technique
1985 年，牺牲层技术(Sacrificial Layer Technique)被引入微机械加工，表面微机械加工概念由此产生，拓展了微机械的加 工灵活性。
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sacrificial layer technique
牺牲层技术
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Instead of surface sacrificial layer and bulk micromachining technique, using polymer as thermal isolation material decreases cost and improves yield.
以聚合物材料作为绝热材料，避免了表面牺牲层工艺和体加工技术，降低了成本、提高了成品率。
youdao
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