富硅氧化硅
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silicon rich silicon oxide 富硅氧化硅 ; 富si氧化硅
oxygen-rich silicon oxide 富氧的氧化硅簿膜
silicon rich oxide sro 富硅氧化硅
rich silicon oxide
富氧化硅
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Analysis by XPS graph obtained silicon atom ratio of oxygen is about 1:1, the results showed that the films were annealed silicon oxide film is rich silicon oxide.
通过对XPS图的分析得到硅氧的原子比大约是1：1，这个结果表明对薄膜进行退火后氧化硅薄膜是富硅氧化物。
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