pzt铁电薄膜
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ferroelectric pzt thin film 铁电薄膜
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The experiments show that the PZT ferroelectric thin film with pe-roskite structure can be produced using reasonable process parameters.
实验表明，采用合适的工艺参数能制备出具有钙钛矿型结构的PZT铁电薄膜。
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