C．层间介质平坦化(PMD CMP) ILD 为实际器件提供IMD层的金属连线的绝缘层,ILD氧化层包括一层薄氮化硅或氮氧化硅,用做器件保护层和金属连线的阻挡层,其上面是...
基于12个网页-相关网页
pmd cmp
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动