机床自动化-中国数控机床网-中国最大的机床门户网站 关键词： 硅片传输机器人； PMAC运动控制器；机器人控制器[gap=587]Key words: wafer-handling robot, PMAC movement controller, robot controller
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PMAC运动控制器
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PMAC多轴运动控制器 PMAC multi-axis motion controller
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