最后进行一平坦化工艺(planarization process)，去除于该介电层表面的该第二导电层、该绝缘层与该第一导电层，以于该电容开口中形成一电容并于该双镶嵌开口中形成一双镶嵌导体...
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polymide planarization process 聚酰亚胺平面化
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The sacrificial layer is removed through an etching process such as chemical mechanical planarization.
该牺牲层是通过例如化学机械平面化的蚀刻工艺除去的。
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