研究小组使用一种被称为斜角沉淀(oblique angle deposition)的技术,将硅纳米棒以45度倾角沉淀在AlN薄膜(这种半导体材料经常被用于LED上)上来制备光学增透膜(anti-reflection coatin)。
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... Lateralpcan with oblique angle 斜平行扫查 oblique angle deposition 沉淀 ; 斜角沉积 Oblique angle puncture 斜角进针 ...
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oblique angle deposition
斜角沉积
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