...藏到书房 47p doc 软刻蚀方法复制仿生微纳结构 当前微电子加工技术已经进入纳米时代，纳米压印技术(nanoimprint lithograhpy, NIL)极有可能成为下一代光刻技术，因为它具有工艺简单直接、成本低、效率高的优点。
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nanoimprint lithograhpy
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