关键词：SiC纳米晶须；制备技术；纳米电子材料； [gap=5604]Key words p-SiC nanowhisker；preparing technology；nano-electronic material
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nano-electronic material
纳电子材料
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The invention discloses a nano electronic part adopting nano-crystalline material as a coulomb island and a production method thereof.
本发明公开了一种用纳米晶材料作为库仑岛的纳米电子器件及其制作方法。
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