...长的超紫外光(EUV)，来自美国马里兰大学(University of Maryland)的研究团队则提出一种多光子光阻剂(multi-photon photoresists)，能让可见光微影达到奈米等级的解析度；通常微影解析度是与曝光时间成反比。
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multi-photon photoresists
多光子光阻
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