微进给平台
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micro feed table 微进给平台
Therefore,the research on rule of thermal deformation of the micro-feed table has great importance and applied value.
因此,开展微进给平台热变形规律的研究具有重要意义和实用价值。
·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
For the system of macro micro-feed table, a micro-feed table in macro-micro dual system was designed by using of flexure hinge.
针对宏微进给系统，利用弹性铰的微变形原理设计了宏微系统中的微动台。采用最小位能原理推导出一般弹性铰的二维刚度矩阵；
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