...工 - docin.com豆丁网 Beam Epitaxy Epitaxy, , MBE) MBE) – – 有机金属化学气相沉积 有机金属化学气相沉积(Metal Oxide CVD, MOCVD) (Metal Oxide CVD, MOCVD) 92 92(2) MOEMS (2) MOEMS..
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metal oxide cvd
金属氧化物CVD
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