metal organic chemical vapor infiltration
《MOCVI法制备SiO2/SiO2复合材料》论文摘要： 依据金属基化学气相渗透法(Metal Organic Chemical Vapor Infiltration,MOCVI)工艺理论基础,采用MOCVI法制备出SiO2/SiO2复合材料,并分析了载气流量、先驱体JH20温度...
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metal organic chemical vapor infiltration
金属有机化学蒸气渗透
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