...少一吸附机构,该吸附机构上涂布有一吸附层,以吸附外气内所含的微污染物,该微污染净化设备后方连设一外气空调箱(MAKE UP AIR UNIT,MAU),该外气空调箱的出口直接导入无尘室;由此,以令外部补气可提供对补气质量要求较高的无尘室使用。
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...少一吸附机构,该吸附机构上涂布有一吸附层,以吸附外气内所含的微污染物,该微污染净化设备后方连设一外气空调箱(MAKE UP AIR UNIT,MAU),该外气空调箱的出口直接导入无尘室;由此,以令外部补气可提供对补气质量要求较高的无尘室使用。
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