low dose water implantation
low dose water implantation
低剂量水注入
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An implanter without ion mass analyzer was used to fabricate thin SOI materials by low energy and low dose water ions implantation instead of conventional SIMOX.
采用无质量分析器的离子注入机，以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备soi材料。
youdao
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