自从Bates等首次证实非晶态的锂磷氧氮(LiPON,Lithium Phosphorous Oxynitride)可作为一种有前景的固态电解质材料以后,很多研究者对众多不同方法制备的LiPON薄膜性质进行了报道。
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lithium phosphorous oxynitride
氧化氮化磷锂
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