...源,H2为载气,Ar为稀释气体,前驱体由载气通过鼓泡法带入反应室,通过等温化学气相渗透法(Isothermal Chemical vapor Infiltration,ICVI)在SiC纤维表面沉积SiC涂层.通过控制沉积温度来控制涂层的表面形貌、厚度.
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在此,本文作者采用微正压等温化学气相沉积(Isothermal chemical vapor infiltration,ICVI)法研究不同的碳源(石油液化气和丙烯)对C/C复合材料增密和热解炭显微结构的影响。该工.
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isothermal low-pressure chemical vapor infiltration 等温减压化学气相浸渗
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