introduction to semiconductor manufacturing technology
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半导体制造技术概论
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Introduction to semiconductor manufacturing technology including oxidation, diffusion, alloying, re-flow process, copper process and chemical-mechanical polishing.
半导体制程技术包括氧化、扩散、热处理、合金化、再流动制程、铜制程及化学机械研磨制程简介。
youdao
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