intelligent equipment monitorsystem
学术论文：iEMS智能机台监控系统在天津FAB厂的实施与应用(可编辑文本) - docin.com豆丁网 能造成数千万元的损 失。所以，如何对如此多的参数进行实时监测、实时控制成为每一个晶片厂的 重大课题。iEMS（intelligentEquipment Monitor System，智能机台监控系统）的 开发成功从根本上解决了这一问题。 1．2主要工作内容 本研究项目iEMS（智能机台监控系统）基于
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智能设备监控系统
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