...频感应等离子体源分为三种：1）ICP等离子 体，天线有柱面和平面两种，天线长度远小于射频波长；2）螺旋共振（Helical Resonate，HR）等离子体，天线长度与射频波长相等或为其二：分之～、四分之一； 3）螺旋波（Helicon）等离子体，...
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helical resonate
螺旋产生共鸣
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