绝缘薄膜的PECVD法制备及其在GaN光电子器件中的应用-亲亲资料网 关键词』 GaN 光电子器件;PECVD; 薄膜;钝化层 [gap=677]Key words] GaN photoelectron devices; PECVD; thin film; passivation
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gan 光电子器件
Gan光电子器件
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