first-harmonic measurement method
first-harmonic measurement method
一次谐波测量法
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To compensate of the nonlinearity error of heterodyne interferometers in nanometer measurement, a method for reducing the first harmonic nonlinearity is proposed.
为了补偿激光外差干涉纳米测量中的非线性误差，提出了一种减小非线性误差的一次谐波方法。
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