过滤式阴极电弧沉积
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filtered cathode vacuum arc deposition 过滤阴极真空电弧离子镀膜技术
filtered cathode arc deposition
过滤阴极电弧沉积
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The instrument of filtered cathode arc deposition is successfully built in our laboratory. Diamond-like carbon film is maded.
研制了一套过滤式阴极电弧沉积设备，并利用该设备成功地获得了类金刚石薄膜。
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