刻蚀容差
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etching error tolerance
蚀刻误差容限
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A high-temperature superconductivity (HTS) quasi-hairpin filter with high etching error tolerance was developed, which had better characteristics than other structures on the same etching condition.
研制了一种具有良好刻蚀容差性能的类发夹型高温超导滤波器，在同等刻蚀条件下，达得更高的性能指标。
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